晶圆片视觉检测设备

2019-11-06 10:53:31

晶圆片视觉检测设备应用案例——深圳市思普泰克科技有限公司


一:检测内容及要求


检测工件面积:


         长4.23mm*宽4.199mm*高0.3mm样件的外观检测               


检测内容:            


               1:底部正光检测外观


               2:顶部正光检测外观



注明:以上检测项目,均需要在影像下清晰可见才能检测


检测效率:每分钟检测200-250,数量根据样件送料速度。


分工段进行:按照检测内容细分检测步骤.


二: 设备组成及主要机构




整体构成:尺寸:  900*800*1850  mm




1:思普泰克视觉检测软件


2:工业电脑


3:显示器   19寸


4:工业相机: 2套    1个底部正光 、1个顶部正光)        


5:工业镜头:2套    2个远心镜头)  


6:专业玻璃盘


7:电磁阀


8:减速机


9:振动柜


二.1: 设备外观3D立体图



三:1 底部正光检测方式


底部检测效果原图:



三:1  底部正光检测方式


底部检测良品分析图:OK



三:1  底部正光检测方式


底部检测不良品(崩边)分析图:NG



三:1  底部正光检测方式


底部检测不良品(边缘不良)分析图:NG



三:2 顶部正光检测方式


顶部检测效果原图:



三:2  顶部正光检测方式


顶部检测良品分析图:OK



三:2  顶部正光检测方式


顶部检测不良品(台面玻璃不良)分析图:NG



三:2  顶部正光检测方式


顶部检测不良品(台面小孔)分析图:NG



四.系统安装要求:


设备放置的检测空间: 在流水线边单独安装思普视觉检测系统,需要保证有足够的空间以安装设备。


环境温度: 0-50摄氏度;


空气湿度: 90% RH以下;


电子干扰: 为设备提供电子干扰较小的地方。


电源:     交流220V,50Hz,  耗电<1KVA